二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818127 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種用於生產微電子系統（MEMS）的自動掩模對準器。它是一個采用集成光學、自動晶片分級、多區供暖制冷的掩模投影系統。它提供了一種精確、可靠的方法來勾勒圖樣並將其轉移到矽基板上。該系統配備了數字掩模圖樣發生器和高速、高精度物鏡，能夠產生最小線寬90 nm、最小線距180 nm的圖樣。MICROTEC MA56能夠產生分辨率高達0.5 µm的各種模式。它還具有一個3𝛍的X、Y和θΩ晶片級，在對準過程中精確定位和定向晶片。KARL SUSS MA-56還具有比傳統弧光源提供更大亮度和均勻性的高品質光源。這樣可以確保精確的對齊和模式轉移到基板上。KARL SUSS/MICROTEC MA-56的光學設計包括幾個高數值孔徑目標，並允許半自動聚焦和重新聚焦。所有圖案都通過穩定的振動補償光學盒投射到基板上。MICROTEC MA 56提供了廣泛的功能,旨在實現自動化、高精度的對齊。它具有自動晶片加載、多區域加熱和冷卻、對準精度的數字控制以及對工藝參數的全面訪問等功能。它還具有復雜晶圓幾何的雙點配準和局部配準功能。MA-56是高精度、大規模制造MEM系統的理想選擇。它提供了一種精確、可重復的方法，可以將圖樣對齊和轉移到基板上，同時提供精確和精確的配準。綜合軟件套件提供了一種易於使用和靈活的機制，用於控制所有參數，確保可靠的對齊和可重復性。MA56是一種高質量、經濟高效的生產高精度口罩的方法,其結果精確、一致。