二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9080239 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種蒙版對齊器，設計用於光刻應用，如生產半導體器件。它是一種高精度的設備，可以將圖樣從負片母片快速準確地傳輸到晶圓。它能夠在200毫米和157毫米晶圓尺寸上操作，最小特征尺寸為0.5微米。系統由主機和主機兩個主要組件組成。主機是包含遮罩級、光源和光學元件的基本單元。機頭安裝在主機頂部,由XY級和Z軸驅動器組成,用於在曝光期間控制基板的位置。頭部還裝有投影光學器件，將母體的圖像聚焦在基板上。遮罩臺采用真空卡盤作為將底片對準遮罩板的固定機構。它配有顯微鏡，以確保薄膜的精確對準。照明源包含汞和鹵素燈泡，以提供不同波長的光來匹配遮罩材料。XY級允許膠片在基板上進行步驟和重復對齊。它有一個精確度下降到微米，允許用戶執行薄膜的精確對準到基板上。投影光學器件是一種高光圈透鏡工具，將燈泡的照明聚焦到基板上。它極其精確，分辨率降至0.5微米。Z軸驅動器允許在曝光期間精確控制基板位置。MICROTEC MA56是光刻應用的理想解決方案,可快速、準確地將圖樣從負片母片傳輸到晶圓。其高精度元件和特性使制造商能夠快速、精確地生產半導體器件。