二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9116712 待售
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ID: 9116712
晶圓大小: 4"
Top sided mask aligner, 4"
(4) Coll wafers
Automatic wafer transfer
Set up for deep UV.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56是由SUSS MICROTEC製造的口罩對齊器。它是微電子生產應用中大小型基板精確對準的實用、通用的解決方案。MICROTEC MA56采用了一種專有的主動穩定技術,可獨立於環境條件提供精確度高達4 μ m(± 2 μ m)的結果。此外,自動對準光學機械系統還可在不到5分鐘的時間內通過全晶圓對準過程確保高通量性能。KARL SUSS MA-56的用戶界面利用了直觀的、基於Windows的圖形用戶界面(GUI),為用戶提供了一種用戶友好的控制掩碼對齊器操作的方式。KARL SUSS/MICROTEC MA-56的先進控制設備還允許傳輸和存儲數據,以便進一步分析和解釋。MA-56集成了一個自動裝載機,用於通過機械臂將口罩從盒式磁帶傳送到曝光區域。掩模對準器可以容納兩種手動晶片對準型號,例如配備四個可調螺釘的標準手動晶片調平系統,以及自動對準單元,以及其創新的機電式盒式調平機。MA56配備了長壽命汞燈、高精度光學成像工具和先進的調制傳遞功能(MTF),在低劑量水平下允許更高的吞吐量。對齊器的內置軟件適合於多種應用,為用戶提供了優化平版印刷圖樣處理以實現高產率的能力。MA 56可以利用200 cm ²的不同基材尺寸,並具有很高的精確度和補償環境因素(如溫度或濕度)的能力。面具對齊器還支持多種語言,使其適合全球市場。總體而言,MICROTEC MA 56是一種可靠的掩碼對齊器,可在短時間內以無與倫比的精度提供準確的結果。它是一種多用途、實用的解決方案,對許多微電子企業都是有利可圖的。
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