二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9210757 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一款高精度的掩模對準器，旨在以精確的精度對準掩模和基板。該工具用於微加工和其他微機電系統（MEMS）的光刻工藝。MICROTEC MA56掩模對準器由一個對準單元、光學器件和一個電動X, Y級組成。對齊器使用光源將掩模的圖像投影到基板上，並提供在1.2微米以內的高精度對齊。光學器件包括一個照明的標線、分束器、成像透鏡和擴束透鏡。電動X, Y級保持基板，並有一個手動Z級進行高度調整。KARL SUSS MA-56允許對齊各種尺寸的口罩，範圍從4 「x 5」到8 「x 10」。此掩碼對齊器設計為操作友好,具有自動化功能,可簡化設置和操作。它有一個數字成像設備，在高分辨率顯示器上顯示對準過程。KARL SUSS MA56還具有自動目標控制系統和自動對焦單元,以確保精確對齊。MICROTEC MA-56的對準精度優於1.2微米，光斑尺寸能力為6µm （FWHM）。它還具有易於查看掩模/基板特征的照明標線,以及用於直接寫入過程的可選UV機。MA 56蒙版對齊器是高精度應用的絕佳選擇，提供快速、精確對齊和長期性能。它是MEMS和光刻工藝的理想工具,允許制造高精度元件和設備。此工具易於使用,並以經濟高效的方式提供準確的結果。