二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是工業研究和生產中用於光刻工藝的高精度、自動化的掩模對齊器。它用於沈積和圖案化光刻膠薄膜，如用於半導體制造的薄膜。MICROTEC MA56具有5-115微米的特征分辨率，適用於厚達500納米的層。機器采用安裝在伺服臺上的成像系統，將光刻面膜暴露在諸如矽晶片之類的基板上。然後將基板移動到靠近成像系統的位置,使其對齊並聚焦。該機器能夠同時進行單軸和雙軸對齊。它允許各種對齊方法，如自動對齊、全視野測量、瞄準、十字線和線性自動對焦。KARL SUSS MA-56使用質量流控制器來精確控制化學物質（如光刻膠和顯影劑）向基板的輸送。過程條件，如溫度、濕度、化學濃度和通量，可以很容易地調整。該機器還提供了廣泛的安全功能,並且符合當前的EMC法規。MICROTEC MA 56具有直觀的用戶界面和高度可配置的工作流。它能夠運行多種編程語言，包括C、Visual Basic和Pascal。機器可以遠程操作，允許遠程觀察和監視。總體而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-56是一種用戶友好的高精度掩模對齊器,適用於各種光刻工藝。它具有很高的準確性和可重復性,能夠實現5-115微米的特征分辨率。該機器能夠同時執行單軸和雙軸對準,並且可以輕松調整以優化工藝條件。其直觀的用戶界面和遠程操作使MA56成為工業研究和生產的寶貴工具。