二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9302582 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種蒙版對準器，利用光學光刻技術在光刻膠等材料中產生微觀結構。對齊器由兩個主要組件組成：蒙版支架和步進表。遮罩架是一個機械平臺，包含一個高度可調的遮罩架，用於移動遮罩以便與基板對齊。步進臺是一個步進電機驅動的平臺，它允許樣品的微觀水平對準。MICROTEC MA56設計用於提供200 nm至100 nm的亞微米結構的高分辨率圖樣和精確對準,並具有0.8/1的數值孔徑（NA）。該機器能夠產生小到0.5um的特征大小的圖樣。它還能夠執行365 nm至365 nm的曝光間隔,步長為0.5-20微米,曝光時間為0.1-200 ms。此外,機器還配備了自動聚焦控制單元,允許用戶預設所需的聚焦,從而確保曝光階段的焦點得到完美調整。KARL SUSS MA-56由廣泛的軟件包提供支持,旨在促進協調過程。它提供了廣泛的對齊輔助工具,如自動曝光（AE）、自動聚焦（AF）、自動調平（AL）、焦點恢復（FR）和模式優化（PO）工具。此外，該設備的設計具有多功能性，因為它的模塊化設計允許使用可交換的口罩和各種基板固定系統。所有這些功能都有助於創建更精確、更高效的光刻工藝,從而提高設備制造的質量。MICROTEC MA 56是一種用於光刻應用的可靠和高度精確的光機械工具，用於利用光刻技術的力量產生復雜的圖樣和亞微米結構。它為精密高效的光刻提供了廣泛的功能，為設備制造提供了更快、更準確的模式對齊方式。