二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9382959 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 56是一種半自動、超精確的掩模對齊器，設計用於光掩模制造、晶圓成像和多層工藝集成等工業光刻應用。MICROTEC MA56可以將掩模（透明）與晶片（矽晶片層）對齊到納米級的精度，從而能夠在晶片上精確放置圖樣。KARL SUSS MA-56具有一個機器人致動系統，該系統能夠將掩模精確的高度和機電對準晶片，可重復性為0.5um。該裝置采用直觀的計算機控制系統，便於設置和操作。KARL SUSS/MICROTEC MA-56具有雙激光定位系統,具有高分辨率的粉末衍射自動對焦和光學幹擾,可實現最佳的對準精度和可重復性。XY級具有內置的數字讀出功能,可在X和Y軸上實現高達0.25 um的對準精度。該掩模對準器還提供了廣泛的光學和機械選項,以方便生產用於晶圓級制造的精密光掩模。此外，MA 56還包括各種曝光系統和選項，如脈沖二極管激光器、光束發生器、光源和對準放大顯微鏡。各種光學元件如濾光片、透鏡、光束夾板和投影光學器件提供強烈的光輻射（通常在紫外線和可見波長範圍內）和改變光束尺寸從25微米到400微米的能力。MA-56適用於需要定制和精確的掩模與晶片對齊的各種應用。對於需要對復雜的光掩模進行精確模式傳輸的客戶來說,它是一個完美的解決方案,非常適合模模、電池間和晶圓級封裝（WLP）。