二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是來自半導體工業精密設備制造商MICROTEC的掩模對準器。MA 6和BA 6掩模對準系統為需要納米級分辨率的高端光刻應用提供了準確、可重復的結果。MICROTEC MA6/BA6掩模對準器的Z軸分辨率為0.01微米，最小步長為0.12微米。它能夠定位重復性<0.1微米的基板。定位臺具有700毫米乘600毫米的線性刻度，能夠精確定位最大尺寸為12英寸的基板。該機配備了雙梁設備，提供快速對準時間和分割場測量能力。雙光束系統包含兩個激光二極管幹涉儀/位置反饋系統，可提供納米級位置精度和快速對準。它還配備了一個高分辨率的遠心光學模塊，提供了放大倍數為30倍或更大的視場。KARL SUSS MA6/ BA6單元具有多種功能,可確保可靠的結果並最大程度地降低缺陷風險。為了降低受到汙染的風險，機器配備了自動對焦曝光工具，使曝光波長保持一致。它還有一個真空保持防止任何基板在暴露過程中運動。為了最大限度地減少基板上的劃痕或凹痕的風險，該資產設計具有氣墊功能。該型號還提供了廣泛的曝光源，如大功率汞弧和XeCl曝光燈，它們提供超高精度的圖樣，曝光時間不到一秒。此外，內置的紫外線和紅外濾光片提供了清潔的工作環境，最大限度地降低了基板吸收任何種類輻射的風險。最後，KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6掩模對準器還配備了一系列廣泛的診斷和服務工具，允許使用全工具控制進行測量、檢查和性能測試，非常適合研發。MICROTEC MA-6/ BA-6掩模對準器具有多功能性、堅固的設計和準確性,是任何精密光刻應用的理想工具。