二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9152898 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是一種具有光阻能力的掩模對準器，用於中小型微電子器件的制造。該工具為材料的精確排列提供了一個準確、穩定的平臺，從而促進了材料的直接沈積。微處理器、運動控制器和設備計算機使整個對準過程自動化。MICROTEC MA6/BA6使整個晶片平面的光學成像降低了5倍,從而在制造過程中實現最大分辨率。此外,該掩模對準器還配備了先進的視覺功能,包括用於控制掩模在開發過程中的精確對準的X-Y和Z軸位移測量系統。KARL SUSS MA6/ BA6設計用於處理從濕化學到有機的各種光致抗蝕劑，甚至是特殊化合物，如用於表面微機械加工的化合物。這一工具特別適合使用敏感材料，在開發過程中提供了高度的可重復性。光束陰影成像也是KARL SUSS MA6/BA6對準單元的關鍵部分。這種成像方法降低了光掩碼誤差的風險，即使在納米級也能實現精確對準。MICROTEC MA 6/BA 6還具有用於材料層快速精確對準的大功率UV燈源和特殊的UV曝光算法,以縮短曝光時間並提高精度。MICROTEC MA 6 BA 6還擁有全面的軟件能力。這樣就可以集成從CAD和其他模擬及設計工具中獲得的數據,從而實現最高的效率。這種掩碼對齊器還提供了流程監控和記錄保存功能，使用戶能夠在微加工過程中準確跟蹤其進度。最後,MICROTEC MA 6/BA 6配備了高級診斷和故障診斷機器,使用戶能夠在制造過程中快速識別和解決任何潛在問題。