二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9163150 待售

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ID: 9163150
晶圓大小: 6"
優質的: 2000
Mask aligner, 6" Configured for 5” Currently stored in clean room 2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner是一款先進的Mask Aligner,適用於從小型中端到高端半導體技術的設備。它被設計用來打印、對齊和轉移模式的面罩到基板上以卓越的精確度。MICROTEC MA6/BA6機使用高度精確的Z軸運動和鮮紅色二極管激光器與設備對齊掩模圖樣。它能夠放置和對齊非常小的圖案,精度高達55 μ米。KARL SUSS MA6/ BA6 Mask Aligner具有極其堅固可靠的精確操作設計。這臺機器采用堅固的BOSCH式甲板,具有最多6個不同口罩的夾具位置。其先進的直線電機驅動X軸,結合4軸視覺系統和旋轉級輔助,保證了可靠的模式放置和對準。此外,機器使用三個照相機檢查面罩對基板的對準。KARL SUSS MA 6 BA 6 Mask Aligner有一個大的優化打印窗口。它能夠打印尺寸不超過4mm的非常小的圖樣,並具有非常快μ 10米可重復性。它提供手動和自動打印模式,使用戶能夠無縫切換這些功能。此外,此掩模對準器還具有集成的基於LED的背光系統,可提高觀看效果,並且可以達到150攝氏度的溫度。綜上所述,KARL SUSS MA-6/BA-6 Mask Aligner是一種高度可靠和精確的對齊和傳輸模式的工具。它具有堅固的設計,具有X軸直線電動機驅動器,以及用於各種掩碼的多個夾具位置。此外,它還提供溫度最高為150攝氏度的手動和自動打印模式,以及用於改進結果查看的背光系統。它是眾多工業應用的理想解決方案,能夠打印和對齊尺寸不超過4mm的小圖案,並具有10 µm的可重復性。
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