二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9316407 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner是為光刻加工而優化的先進微光對齊器，為半導體工業提供了廣泛的能力。MICROTEC MA6/BA6適用於先進的翻轉芯片模具、光電器件和其他復雜的光刻交易解決方案,是下一代制造技術的強大、可靠的補充。KARL SUSS MA6/ BA6高度自動化,能夠處理多種精密光刻工具。憑借先進的機器人設備，這種面罩對準器可以快速、準確地對準和粘結元件。其成套工具包括自動4軸定位臺、高分辨率步進電機、圖案匹配顯微鏡和X和Y級可達0.5 um步長的光學系統。它的自動化4軸定位表提供了快速、準確的對齊方式以及高穩定性和可重復性。這允許復雜復雜的設計,如復雜芯片結構的凹凸引導對齊,以及印刷線和空間的規律性。KARL SUSS MA 6/BA 6還有一個高能見度顯微鏡，可以精確測量零件和對準，分辨率為0.25um。此單元非常適合快速捕獲和存儲示例圖像以及手動對齊復雜的3D結構。此外,先進的MA 6/BA 6光學機器能夠打印小至0.5 um的空間特征,具有可控步長和大視野。該工具針對標準光刻和厚膜工藝進行了優化，每晶圓最多有3,000層。MA6/BA6是一種高效可靠的半導體和光電制造操作解決方案。其先進的自動化、強大的光學資產和極大的現場能力使此掩模對齊器成為任何業務的可靠和靈活的補充。
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