二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9364593 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6掩模對齊器是一種用於制造微電子器件的自動掩模對齊器。MICROTEC MA6/BA6設備具有精確且可重復的掩模與基板對準功能,允許嚴格的對準公差。該系統可容納直徑達6英寸的基板,適合研究應用。KARL SUSS MA6/ BA6單元可實現高級對準,分辨率低至1微米。其± 3微米的對準精度,以及先進的傾斜和旋轉對準功能,可實現精確的掩模與基板對準。此外,這臺機器的完全自動和手動處理功能允許執行各種對齊和對齊修改任務。KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6工具包括步進電機XY級,可提供高重復性、準確性和穩定性。它可以精確定位基板和面罩,確保完美對齊.該資產還采用了可調節的十字發型定位模型,以獲得最佳精度。此外,蒙版支架的深度調整為2.3mm,可進行多層對齊。MA6/ BA6設備采用無工具孔徑校準和口罩支架調節系統。先進的口罩支架傾斜和旋轉控制使口罩和基板的精細調節比其他系統更容易。然後,為安全和保護起見,會自動覆蓋暴露的蒙版,並且KARL SUSS MA 6/BA 6單元會在對準前後自動擦拭所有成像光學器件。KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner提供高精度和重復性,非常適合微電子學的研究應用。它具有完整的自動和手動處理功能,以及用戶友好的對齊控制功能,使其成為生產使用的理想選擇。憑借其高精度和對準能力,KARL SUSS MA-6/BA-6機可用於生產高質量的微電子。
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