二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9378159 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6是晶圓光刻的一種高度精確的掩模對齊器。它由步進式曝光設備組成，具有基於顯微鏡目標的對準系統。步進式曝光使用紫外線，提供晶圓表面上圖像的受控圖案。對準單元的目標是確保晶圓制造的掩模模式的重復和準確對準。MICROTEC MA6/BA6利用各種技術確保最佳性能。它配備了使用光學顯微鏡目標的自動對準機、確保晶圓均勻性的平坦度監視器、用於在晶圓表面上產生圖樣的多通道模式發生器以及用於亞微米精度的邊緣檢測工具。此外，還專門為KARL SUSS MA6/ BA6開發了幾個軟件包，以確保有效的用戶操作和能夠將模式傳輸到晶圓上。MICROTEC MA 6/BA 6旨在滿足一系列制造任務的高性能要求。該模型可用於多種應用，包括制造集成電路、半導體元件以及用於平板和汽車顯示器的元件。它能夠超精密對準，提供0.5微米以下的高精度，最大工作可重復性小於10微米。此外，其易於使用的軟件功能支持多種模式設計方法，其自動對齊資產使得能夠以最少的浪費生產高質量的基材。MICROTEC MA 6 BA 6是生產環境中需要精確和可重現性的理想光刻工具。它將高質量的對齊和成像精度與高效的設計和用戶友好的軟件相結合，以有效地制造晶圓。它被設計成在很寬的溫度範圍內發揮作用，使得它適合在廣泛的工業應用中可重復的過程。此外，它的高精度保證了生產過程中各層的精確對齊，使得高質量產品的生產成為可能。