二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #131530 待售
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ID: 131530
晶圓大小: 6"
Topside and IR mask aligner, 6"
With backside IR
Chuck, 6"
Split field optics:
Torret type
UV 400 Optics
Lamp: 500W Mercury short-arc lamp
Power supply: CIC 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種面罩對準器,設計用於各種材料的精確對準和光刻,包括金屬、玻璃、陶瓷和塑料。MICROTEC MA6非常適合用於電極沈積、光致抗蝕劑處理和BioMEMS微加工應用。KARL SUSS MA-6具有極其精確的自動化圖像對準設備,可確保幾乎任何光刻膠或聚合物基板的精確且可重復的光刻面罩對準。遮罩對準器還具有高度靈敏的光學配準系統,可以精確測量遮罩結構與基板之間的偏移。該裝置能夠將掩模精確對準0.5微米以內。MICROTEC MA 6還提供了廣泛的先進光敏處理技術。這包括可變角度平行性、可變方向平行性和可變焦點對齊。掩模對齊器還具有自動靈敏度控制機器,可提供對各種電阻率的線性和非線性電阻率控制。集成軟件使用戶能夠在光刻周期中監視和控制過程時間、溫度和其他參數。KARL SUSS MA 6還通過先進的散熱器設計提供了卓越的溫度均勻性。散熱器設計用於在基板表面均勻循環加熱空氣。這有助於確保光刻過程中的最佳效率和精度。KARL SUSS/MICROTEC MA6還包含有助於確保人員、設備和環境安全的集成安全功能。這些特點包括輕型窗簾、安全聯鎖、空氣過濾和真空隔離閥,以及保護罩。MICROTEC MA-6是一種高度通用的工具,幾乎可以用來精確對齊和光刻任何材料。高精度的圖像對準工具、先進的光刻處理技術、卓越的溫度均勻性和安全特性使KARL SUSS MA6幾乎所有應用的理想選擇。
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