二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970 待售
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ID: 293592970
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6"
Gen 1
Resolution: 1 Micron
Split field microscope with (6) objectives
Option: IR, 3"
Mask holder, 7x7"
Power supply: 1000 W.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高級掩模對齊器,設計用於高精度對準和配準。它配備了自動激光設備,可在一個周期內對多達六個基板進行高精度對準。對準精度在x、y方向上均為0.5µm,在z方向上均為1 µm。系統的準確性進一步得益於高度敏感的晶片邊緣識別特性。對準和配準過程是通過將五個單獨的激光束順序發射到基板上的一系列標記上進行的。對每個標記進行監控和校正,以滿足所需的公差,使其精確對齊並粘合到所選擇的基板上。MICROTEC MA6包括一個晶片級機器人單元以方便基板的裝卸,以及一個集成的熱力機以保持它們在理想溫度範圍內。面罩對齊器還具有自動標線交換和集成控制中心,提供視覺界面和實時監控過程。它的高級設計允許在配方之間簡單易行地轉換參數,從而在對齊過程中具有更大的靈活性。KARL SUSS MA-6還利用視覺工具掃描標線上的缺陷,以確保每個基板上的無缺陷對齊。MICROTEC MA 6是一種高度可靠的掩模對準器,可用於電子、光電、光子學和微機電系統(MEMS)等一系列行業。資產本身具有防塵功能,可用於從大容量到大型群集配置的一系列生產環境中。它為同類產品提供了出色的穩定性和可靠性,非常適合要求高精度和重復性的應用。MA6是精密制造過程中調整微結構元件的理想工具,因為它可以與高質量、高精度和可重復的結果進行調整。總之,KARL SUSS/MICROTEC MA-6是為高精度應用而設計的先進對齊器。它具有高度自動化和可靠的模型,能夠提供準確的對齊和配準,並為班級提供極好的穩定性。該設備具有防塵功能,可在多種生產環境和配置中工作,是精密制造工藝的絕佳選擇。
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