二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293600857 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是為半導體工業中的光刻應用而設計的最先進的掩模對齊器。它具有高精度的自動對準設備，能夠將精密掩蔽和晶片級與獨特的掃描儀結合起來進行精細調整。MICROTEC MA6還為所有光學元件提供了極高的精度,從而在要求苛刻的光刻工藝中實現了卓越的圖像再現性。KARL SUSS MA-6的對準系統采用精密掩蔽級和高精度晶圓級兩種分級相結合，能夠實現0.15 µm的精細定位精度。遮罩級使用兩臺精密的5軸壓電執行器，射程為100 µm，以實現遮罩和晶圓的優越對準。高分辨率掃描頭的設計實現了面罩和晶圓的對準，精度為0.3µm。MA6包括一整套用於優化光刻性能的控制軟件。屏蔽級和晶片級的狀況不斷監測，為復雜的光刻工藝提供了卓越的可靠性。該軟件可用於編寫對齊過程腳本或優化特定應用程序的單元。KARL SUSS/MICROTEC MA-6配備了多項先進功能,可實現卓越的光刻效果。它具有高強度的紫外線激光源，為晶片提供了非常均勻的曝光。成像機還包括一個先進的工具，用於測量光強度，確保在曝光的每一個點完美的曝光水平。再者，由精密的5軸壓電執行器提供掩模和晶圓的微米尺度對準。KARL SUSS MA 6適合於廣泛的光刻應用，包括劃線、接觸印刷、噴墨印刷和光刻回流工藝。資產的高精度、精確度和通用控制軟件使其成為先進光刻的理想選擇。采用適當的掩模和晶片級組合，可以配置KARL SUSS MA6，以滿足現代光刻工藝的挑戰性需求。