二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293623425 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是為生產先進半導體器件而設計的高精度、全自動的掩模對齊器。它能夠對準和暴露基片晶片上的設備，尺寸不超過200毫米。這種微處理機利用精密的軟件以及光學和電機控制來精確地將特征和對準標記放置在基板上。光學系統由遠心透鏡、對準光束和舞臺運動組成。電機控制可以改變X軸和Y軸運動,並同時包含步進運動和連續運動。機器的對準能力通過使用光束分割技術得到進一步增強，使對準光束被分割成多個點。這樣就可以在多個點同時對齊對齊標記和特征。光學子系統也非常精確，對準精度高達1 µm。MICROTEC MA6提供了全方位的抵抗曝光技術，如光學、電子束和X射線光刻。也可用於焊球和電路元件的對準。機器的自動曝光和對準功能確保最精細的細節仍然印刷準確，即使是小基板。KARL SUSS MA-6還包括一系列安全功能,例如封閉曲面和用戶友好的操作員界面。此外，機器還配備了一個軟件包，旨在控制和監控工件參數。該軟件允許輕松輸入、記錄和存儲可重復的流程配方。最後，MA6被設計為高度可靠，在世界各地的生產線中有著成功的記錄。其堅固的設計和卓越的性能使其成為高精度、高批量生產要求的理想選擇。