二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293626982 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高精度的掩模對準器，設計用於平板顯示器、光學、MEMS等類似應用的各種制造工藝。該設備采用獨特的對準系統，結合高精度激光對準和光束感應器進行精確配準和對準。MICROTEC MA6利用軟件驅動的光學對準單元,可進行各種操作。利用其先進的軟件，蒙版對齊器可以配置為執行幾種操作，包括晶圓到蒙版對準和測量、二進制光學面紗、圖案投影對準和校正等等。KARL SUSS MA-6有兩個階段，一個掩模階段和一個晶圓階段。面罩級提供三個獨立的執行器，最大50微米定位。晶片級配備高精度XYZ掃描，每個方向最大Z行程為14毫米，XY掃描範圍為15毫米。該機能夠在X和Y方向上提供低至5微米的對準精度。還包括在KARL SUSS MA6是一個專利物鏡設計，包括一個可調焦點和可變放大倍率。這樣可以確保將掩模圖像精確聚焦到基板上。為了提高安全性和便利性,該工具包括安全互鎖資產,以防止意外暴露。此外,該模型還包括符合人體工程學的設計,可減少操作員疲勞。MICROTEC MA 6利用現代光學和光機械工程的各種組件，為平板顯示器、MEMS和其他類似應用提供可靠準確的對準和制造。這種高度精確的掩模對齊器是為可靠性、性能和壽命而設計的，使其成為制造過程中必不可少的組成部分。