二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9116715 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是為光刻工藝設計的掩模對齊器。它是一種非常可靠、精確的顯微鏡制圖操作工具，適用於器件制造、納米制造、直接書寫和薄膜沈積。MICROTEC MA6的核心是其精確對準技術。該儀器利用「自對準設備」快速準確地記錄懸垂和底切。該系統使用戶能夠以10nm的可重復精度準確定位所需的特征位置。掩碼對齊器由微處理器控制，便於操作和編程。PA 6還配備了9.7英寸液晶面板。此面板顯示模式數據以及舞臺控制參數以及對齊器設置。此外,還包括一個18英寸的顯示器,用於查看分別輸出到現場打印機的數據。KARL SUSS MA-6配備了高效的曝光光源。這種光源在廣譜範圍內提供可控的輸出，範圍從紫外線和可見到紅外。這種光源還可以使整個晶片的曝光保持高度均勻性。掩碼對齊器使用全場光學對齊單元，允許用戶查看、測量和調整掩碼的場位置。這臺機器可確保晶片之間精確的叠加對準，減少不均勻曝光的機會。KARL SUSS/MICROTEC MA6還配備了一系列舞臺和搬運系統，包括手動和自動化舞臺的選擇。階段可以是手動的,也可以是自動化的,具體取決於用戶最合適的要求。這些級的精度為10nm，平均級振率為0.1µm。MICROTEC MA-6是尋求精度、準確性和可靠性的理想解決方案。面罩對齊器的靈活性和特點確保它滿足許多光刻工藝的需求，並提供高品質的圖樣跨越廣泛的基板。