二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9188997 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種精密的掩模對齊器，旨在方便工業應用微觀結構的高通量制造。遮罩對準器用於生產金屬、金屬氧化物和金屬半導體沈積結構的基板，以及用於光學基板如透明金屬氧化物結構。掩碼對齊器由兩個部分組成：對齊器和步進器。掩模對準器使用精確的自動對準設備（AAS）來實現卓越的對準精度。該系統的特點包括面罩的自動插值以與基板對齊，以及自動傾斜和放大功能。這允許對齊離軸,以及大格式基板。對齊器用於將掩模與基板對齊，步進器用於啟動光刻過程。這一過程被稱為「蒙版曝光」，其中使用聚焦光子束來曝光基板中的巖性結構。曝光時間是可調的，允許對曝光尺寸進行非常精確的控制。MICROTEC MA6還可與亞微米精確自動跳躍型基板對準（JA）配合使用,該對準可使基板對準小至2mm。KARL SUSS MA-6還配備了光光束監測裝置，確保正確跟蹤對準過程，並以最小的人為幹擾。這臺監測機器還提供曝光時間和輻射強度等曝光參數的反饋。最後，KARL SUSS MA 6能夠在使用者介面上提供高品質的影像顯示，讓掩模與基板非常精確的對齊。KARL SUSS/MICROTEC MA-6是一種最先進的掩模對準器，廣泛用於金屬和光學基板的生產。自動對準工具和廣泛的反饋選項確保它能夠準確地產生所需的微結構類型。MA 6的所有組件都是考慮到質量和效率而設計的,它的設計目的是在制造微觀結構時提供盡可能好的結果。