二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是為晶圓級光刻而設計的微電子掩模對齊器。它是一種全自動儀器，以投影成像原理運行。該裝置將光掩模的光學圖像對準並暴露於塗層或未塗層的基板上，以制造基板上的光刻圖樣。MICROTEC MA6包括一個機械控制的掩模級,用於處理和對準光掩模。它還包括一個晶片級，它在x、y和z方向上自動移動基板。KARL SUSS MA-6可容納直徑可達150毫米的基板,同時具有自旋接觸和線性接觸接觸。遮罩級具有可調的x、y和z對齊方式，可精確對齊遮罩和基板。KARL SUSS MA 6最大分辨率為0.5um，通常用於半導體技術，最小特征尺寸為1.0um，用於顯示和傳感器應用。其曝光能量範圍為0.15 mJ至3.2 mJ，精度為0.15 mJ。液氮冷卻梁轉向系統可實現精確的對準和曝光。該儀器設計為提供低成本、亞半微米成像。MA6還具有一個可選的I-line機器,它允許標記內層。內置鰭狀肢確保徹底清潔所有光學元件。隨附的多層單元允許生產只有一次曝光的多層。可編程的動態對齊方式允許對齊標記的精確和可重現的放置。軟件將所需的掩碼與基板對齊,以確保正確對齊。MA 6還包括用於光刻膠幹蝕刻的集成蝕刻和用於去除底切光刻膠的濕蝕刻選項。它具有很高的可重復性，準確度為0.05%。它還具有晶片級的集成冷卻，以延長其壽命，並允許高精度成像。該儀器通過其GUI提供了一個易於使用的全自動用戶界面。其設計符合所有主要的安全和排放標準。這些特性使得KARL SUSS/MICROTEC MA-6適合原型制作、中小型批量生產以及研發。