二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種在光刻領域使用的最先進的掩模對齊器。它將獨特的高性能光學設備與高度精確的機械對準系統結合在一起，從而提供高精度，而不會失去吞吐量或工藝可靠性。該單元適用於激光直接成像以及浸入式光刻和軟掩模光刻。晶片與標線的全自動對齊確保了對齊過程的準確性和可重復性。MICROTEC MA6光機主要由三個部分組成：一個大的視場攝像機、一個圖像旋轉工具和一個長工作距離顯微鏡。相機捕捉到整個蒙版的高分辨率圖像，然後將其與圖像旋轉資產結合起來，使基板精確對準蒙版。然後顯微鏡以亞微米分辨率對感興趣的小區域進行成像。光學模型提供了一個大視野，允許精確的對準和較短的對準時間，同時保持高分辨率。該設備還能夠進行全覆蓋測量，從而可以微調對齊參數。機械對準系統提供晶圓定位的精確控制。該單元采用獨特的6軸對齊階段，允許在三個維度上精確定位基板。優化了運動範圍，以確保晶片相對於掩模的精確放置。此外，該機還裝有用於晶圓精確旋轉對準和傾斜校正的燕尾形刀具。KARL SUSS MA-6專為大批量生產環境而設計,提供卓越的對齊精度和吞吐量。該資產非常適合計量和質量保證應用，為標線評估和工藝優化提供準確的測量。先進的光學和機械系統的結合使該模型能夠為所有類型的應用提供快速、準確和可重復的結果。