二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9257127 待售

ID: 9257127
Mask aligner Backside chuck, 3" (BSA).
MICROTEC/Micromask KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種先進的精密掩模對準器,用於在精密光刻工藝步驟中曝光光掩模和各種基板。它非常適合用於實驗室和工業應用,用於制造集成電路組件,如晶體管、電阻器和電容器。MICROTEC MA6使用經過微調的自動化系統運行,以確保光刻曝光過程的準確性和多功能性。它有一個6英寸的方形可編程曝光區域,適用於中型到大型集成電路(IC)的設計和制造。它配備了一個UV燈,其波長範圍為193至248 nm進一步允許暴露在廣泛的材料上。KARL SUSS MA-6的設計允許在暴露的設備或基板上精確且可重復對準掩模。這種精確度是通過微觀和宏觀範圍調整、自動聚焦系統和綜合視覺系統等幾種創新機制實現的。這些機制確保在曝光過程中所需的設計能夠準確地對齊到基板上,並確保所需的曝光結果得到一致的實現。MA6還提供了幾種不同的曝光選項,如升空和雙光子直接曝光。雙光子直接曝光方法非常適合更高分辨率的圖樣,因為它允許大的照片面罩和/或小的基板被曝光,而無需接觸打印。KARL SUSS/MICROTEC MA-6還能夠進行深紫外線(DUV)和超高能(UHE)輻射。此外,MICROTEC MA 6與不同化學性質和厚度的光致抗蝕劑兼容,使用戶在其特定裝置或基板的精確曝光要求方面具有完全的靈活性。總之,MA-6是一種先進、可靠和用戶友好的掩碼對齊工具。其精確的對齊和曝光能力,以及先進的自動化系統,使其成為滿足您所有精密光刻需求的理想工具。
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