二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9281940 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種用於微電子和半導體生產中光掩模的制造和對齊的掩模對齊器。對齊器是一種全自動機器，用於對齊和傳輸特征上的光掩模到基板或晶圓，同時確保接近完美對齊。先進的機器采用基於激光幹涉儀的計量學，在傳輸和對準過程中提供了令人難以置信的精確度。MICROTEC MA6由幾個組件組成：高精度電動舞臺、真空真空卡盤、計量相機和投影設備。KARL SUSS MA-6上的機動化級可實現0.5微米的精確運動，並具有防振懸掛系統，真空卡盤通過吸力固定晶片。計量照相機用於測量掩模和晶片之間的任何錯位，而投影單元則用於將圖樣從掩模傳遞到晶片。MA 6能夠制造任何精度為300納米的光掩模。此外，它先進的模式識別技術使機器能夠輕松識別和復制甚至最復雜的模式。這項技術與KARL SUSS/MICROTEC MA6先進的投影工具相結合,可實現令人難以置信的精確對準,並在掩模和晶圓之間傳輸高達± 0.1微米的圖樣。KARL SUSS MA6還具有自動參考點識別功能,即使在最具挑戰性的情況下也能確保完美的對齊。此外,它還可以存儲多達1000種配方,從而能夠快速設置和操作多個流程作業。KARL SUSS MA 6還有一個可選的微機械手，用於高精度對準和操縱小型微結構。MA-6是在半導體工業中廣泛用於生產高質量集成電路的先進工具。KARL SUSS/MICROTEC MA-6由於其驚人的精確度和復雜的模式識別,已成為制造光掩模的行業標準。