二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9286934 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種用於光刻的全自動、高精度、接觸式對準設備。它是專為半導體加工而設計，可用於對準和陣列晶圓級掩模層的亞微米精度。該系統具有最先進的XYZ對準級,用於精確定位和測量。MICROTEC MA6配有25倍視覺顯微鏡進行缺陷檢查，掩模和晶圓對準的視野高達700倍，並有兩個獨立的12站式掩模裝填系統。顯微鏡可用於對準、工藝檢查、表面計量和晶圓計量。KARL SUSS MA-6具有帶有三個立方體角反射器的直視成像，用於驗證和確定掩模相對於晶圓的確切位置。它可以使用掃描電子束成像、I線曝光和內存驅動的數據管理來存儲詳細的過程信息。該單元是完全自動化的，主要控制軟件能夠控制多達59個過程步驟。基本的KARL SUSS/MICROTEC MA-6機包括兩組掩模對準級、晶片樣本級、掩模對準傳感器和光源，以及專用的掩模對準軟件和對準檢測子系統。內置的計量子系統允許精確測量晶圓-掩模對齊方式。它還具有用戶友好的圖形界面,以及一系列附加的自動化和工程選項。MICROTEC MA 6工具用於多種半導體技術，包括光掩模制造、MEMS制造、3D集成電路和微流體器件制造。可用於快速原型制作，小規模生產運行，實現量產高產。資產的精確度和速度使其成為各種半導體加工需求的理想選擇。