二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 760 #293637680 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 760是一種計算機控制、基於光學投影的掩模對準器，設計用於等離子體蝕刻和光敏塗層晶圓曝光。它非常適合掩蔽和計量應用,是市場上最先進的自動曝光系統之一。MICROTEC MA 760提供了卓越的對準精度和高度自動化的曝光臨界光刻工藝。它具有激光幹涉級、雙高像素密度相機、高速處理系統和精密高清處理器。強大的曝光系統的光機械子系統為用戶提供了最高水平的準確性、可重復性和吞吐量。KARL SUSS MA 760的高分辨率相機和10：1投影光學器件使對準精度優於2微米，邊緣放置性能極佳。它具有高動態範圍成像（HDRi）功能,可改善邊緣和地形識別,同時兩臺內線掃描攝像機可檢測到比常規照片掩模更詳細的邊緣細微特性。MA 760可以處理廣泛的基板尺寸和形狀，並配有安全的邊緣處理系統，能夠在無需人工幹預的情況下自動加載、對準和暴露基板。它還可以在大面積上提供出色的透晶片均勻性。這款用戶友好型軟件提供全面的流程控制和數據分析,以及一套全面的流程監控算法,確保了最低限度的幹預和易用性。它還提供自動數據日誌記錄和高級報告功能，包括晶圓對晶圓的數據追蹤和報告導出。KARL SUSS/MICROTEC MA 760可靠、持久且易於維護,這要歸功於其堅固的結構和穩定的運行。1000類潔凈室規定確保設備在其產品使用壽命期間僅需要適度的維護。所有這些特性使得這臺機器成為要求苛刻的光刻應用的絕佳選擇。