二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 6 #9262949 待售

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ID: 9262949
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 6 Mask Aligner是一種多用途的用於制造Mask的自動晶圓步進器。該設備采用了專利光學對準算法和雙CCD對準系統,以確保晶片和掩模之間的精確對準。MICROTEC MA-8/ BA6具有廣闊的視野和高質量的光學器件,可確保精確對準6 µm。晶圓/掩模未對準(包括表面非平面)是可以糾正的。它可容納2「至8」晶片,能夠暴露在0.5µm範圍內,非常適合高分辨率的掩模制造。該單元還具有電動XY和Z軸功能,可實現出色的陣列放置精度和對準再現性。它還提供二極管保護,以防止激光對準對掩模或晶片造成任何損壞。此功能允許用戶在曝光前精確調整掩模的位置,確保對準過程中的精確度和精確度更高。此外,KARL SUSS MA-8/ BA-6具有緊湊的占地面積,並配備了功能強大的自動開環控制機器,以實現卓越的曝光控制和可重復性。革命性的曝光參數,如蒸汽角或標線圖樣大小和實時監測劑量可以在曝光期間進行調整和監測。MA 8/BA 6因功耗低和自動維護要求而擁有較低的擁有成本。Mask Aligner還具有增強的用戶界面和直觀的圖形菜單,可實現快速、無故障的操作。嵌入式高速以太網端口可用於促進網絡連接,並允許遠程維護和支持。此功能有助於遠程操作和維護,同時確保安全的實時連接。總體而言,KARL SUSS MA 8/BA 6蒙版對齊器是一種可靠、精確的自動蒙版對齊器,專為精確高效的蒙版制造而設計。它提供了出色的性能、特性和靈活性組合,允許用戶以最低的成本和工作量提供高性能掩碼對齊。
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