二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen 2 #293652018 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen2是一種先進的對準和曝光工具，為光刻工藝提供高分辨率和精確度。它為基於晶圓的應用程序啟用單層和多層進程。該設備為中高批量生產需求提供了完整的解決方案。MICROTEC MA 8/BA 8 Gen2提供了高吞吐量的功能,可選擇集成從單光源到四光源的多個曝光源。這支持快速的位置叠加和曝光時間優化。它具有高精度的6軸掩模和基板對齊器，用於精確的過度鋪設，以及用於高分辨率對齊的精密晶圓運動。該系統還提供非接觸抗蝕劑和基板溫度控制，以獲得最佳效果。它可以處理各種口罩和基板,尺寸可達270 mm,在所有三個軸上的位置定位精度最高可達5 μ m。該單元支持2「至9」的蒙版尺寸,並可選擇具有多個夾緊位置的可互換蒙版支架。該機提供車載綜合工藝控制，配有雙波束對準單元和內置晶圓導航羅盤。它支持自動光學聚焦和固定視場對準,以及全自動掩碼對準和曝光周期。該工具的高級定位以高精度驗證每個曝光圖像的配準精度。KARL SUSS MA 8/BA 8 Gen2專為強大可靠的操作而設計,確保增強用戶體驗。它具有廣泛的環境控制，包括廣泛的溫度範圍、濕度控制和清潔空氣選項，以創造晶圓加工的最佳工作環境。總體而言,MA 8/BA 8 Gen2是一款多功能、高性能的掩碼對齊器,可為各種應用程序提供卓越的精度和精確度。它具有滿足低批量和大批量生產要求的靈活性,從而能夠可靠地生產超精確的組件。