二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293590393 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8是為高精度光刻應用而設計的精密掩模對齊器。它用於在由多種材料制成的晶片上對齊和設計精細的微結構。MICROTEC MA8/ BA8具有高度精確的對準設備,具有通過兩臺電機、一臺電動壓力機和兩臺顯微鏡物鏡的組合實現的亞微米級反饋精度。電動壓力機在面罩/面罩支架和晶片/支架之間提供受控壓力，最大壓力為3.2公斤。這樣可以確保準確、可重復的曝光。顯微鏡物鏡可以精確對準晶片上有圖案的掩模並將其曝光。該機刀具尺寸為8英寸，最大晶圓尺寸為8英寸，最大花紋曝光為4微米。當使用適當的光學器件時，可以實現亞微米分辨率模式。整個曝光過程完全自動化，由先進的軟件系統控制。該軟件旨在簡化光刻管理過程。它為用戶提供了一個直觀的平臺，用於控制曝光時間、對準、聚焦、壓力等參數。通過使用軟件界面，用戶可以快速設置和運行實驗，修改曝光設置，生成報告。KARL SUSS MA8/ BA8還配備了先進的安全功能。它有一個內置在櫃內的排氣單元，去除了光刻過程中產生的有害顆粒。此外，還有兩個內置的安全百葉窗保護用戶免受紫外線輻射。此外，在緊急情況下，可以使用緊急停止按鈕快速停止接觸。總體而言，KARL SUSS MA8/ BA8是生產高質量亞微米模式的絕佳設備。其精確的對齊機和自動化軟件使它成為一個理想的掩碼對齊一系列的任務。