二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #9171637 待售

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ID: 9171637
優質的: 2008
Mask aligner 2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Mask Aligner是一種計算機控制的自動化晶圓成像和對準設備,用於制造光掩模。該系統是微加工過程中的一個重要工具,用於精確對齊兩種不同的基板,同時控制焦深和精確的晶圓與掩模對齊。MICROTEC MA8/ BA8由強大的控制器和主機PC組成;在三個維度上移動的模擬掃描器;高分辨率光學相機成像儀;超精確對準頭;和過濾單元。它還包含兩個標準光源,一個水銀弧燈和一個氙弧燈。配備手動或電腦化可調背光燈及手動或電腦化可調Z級機。對齊頭是工具最關鍵的組成部分。它可以精確定位掩模和晶片以進行成像。當遮罩和晶片對齊時,縮放旋轉函數確保配準完美。然後,光學成像攝像機通過測量蒙面細節的深度來提高對準精度並捕獲地形數據。使用獨特的三重曝光過程,KARL SUSS MA8/ BA8創建完美的對齊方式。第一次曝光包括重叠和對齊標稱坐標。第二次曝光對坐標進行過采樣,第三次曝光與精確坐標匹配。這種超精確的成像和對齊資產與強大的主機計算機相結合,可以處理圖像並創建一個完整的圖案文件,用於制作光掩碼。此外,該模型還具有先進的軟件,可幫助操作員最大程度地提高KARL SUSS MA8/ BA8的精度和速度。它包括用於輸入掩碼數據、處理圖像以及鏈接到現有軟件的用戶友好功能。它還提供了一個全面的布局編輯器和一個面具檢查程序的質量保證。總體而言,MA 8/BA 8掩模對齊器是光電器件生產和復雜的微加工工藝的理想解決方案。它具有強大的控制器、精確的成像和對準設備以及先進的軟件,有助於促進高效和經濟高效的生產。
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