二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 Gen 2 #293810576 待售

ID: 293810576
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8 Gen 2是一種掩模對齊器,在半導體工業中常用,用於創建模具大小的電路模式。機器使用一個6英寸到8英寸的圓形或方形掩模來圖樣電路,然後轉移到晶圓或基板上。這種掩模對齊器具有很高的精度,因為掩模與晶圓對齊到10微米以內,這意味著電路模式可以非常精確地再現。MICROTEC MA 8 Gen 2使用基於串行通信的三語言控制設備,使機器能夠根據特定要求進行定制。用戶友好的直觀界面非常適合通過鍵盤、鼠標、顯示器或標準工業PC進行快速設置、診斷和系統維護。KARL SUSS MA 8/GEN 2配備了先進的成像和模式技術,如步進阻抗和幹蝕刻對準,以及雙波長激光光學對準單元,用於精湛的校準和復雜的光掩模叠加對準,並依賴標準和定制的識別計量。該機還包含一臺可滿足各種芯片生產需求的步進重復機,以及用於精確壓力和溫度管理的精密深度/焦點評估和伺服控制系統。這種掩模對齊器還提供了一個獨特的加工窗口,可以容納各種基板,包括3「到8」(75毫米-200毫米)之間的晶片以及厚基板。KARL SUSS MA 8 Gen 2還具有一個封閉容器工藝,具有開發或蝕刻厚膜的高壓8BAR能力,以及一個可選的基於紫外線臭氧的清潔工具,用於先進的多層堆疊或挖溝工藝。最後,MA 8/GEN 2是一種功能包裝的掩模對齊器,它在工業級設計中提供了通用的陣列和成像功能。其用戶友好的控制界面,加上其先進的技術,為即使是最復雜的芯片生產過程提供了可靠的精度。
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