二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #293587271 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 8是一種全自動光刻掩模對準器，用於生產亞微米範圍內的集成電路。它是一種高精度、模塊化的機器，支持一系列斜對齊和對角對齊器、UBM和Aspheric鏡子，以及廣泛的舞臺自動化級別，以適應不同的工藝要求。這包括批量和單片加工，以及對樣品結構的高分辨率測量。MICROTEC中的主要組件MA8包括X-Y級、晶片卡盤、樣品支架和標線卡盤。X-Y級允許使用兩個精密設備進行精確對準的樣品移動,這兩個設備提供了亞微米分辨率。晶片卡盤容納厚度達3毫米的薄樣品，樣品支架將其相對於顯微鏡定位。它保持在顯微鏡下的位置，微處理器通過一系列編程序列控制晶圓的運動。標線卡盤將暴露的口罩保持在晶圓上方的位置，其運動也由微處理器控制。KARL SUSS MA-8的其他功能包括提供步進電機對準的高級聚焦伺服系統,以及用於識別樣品大小和形狀的自動邊緣檢測。精確對準使樣品能夠精確放置，高頻XY線性級用於非常精細的對準和定位。該系統還設有真空傳感器，用於控制曝光過程。為了提高生產效率,MICROTEC MA 8提供了氣動速度控制和光敏材料的自動點/跨度,用於UBM對準。該機還具有多種曝光源，包括各種電弧燈功率、X射線源和激光器。這樣可以實現生產過程的完全自動化,並確保芯片可靠地對齊和曝光。總之，MA8是一種通用、高精度的掩模對準器，是亞微米範圍內電路生產的理想解決方案。其模塊化設計和一系列自動化功能可實現精確的一層或多層曝光,並具有高精度聚焦和對準功能。憑借其諸多優勢，這臺機器可以提供最高質量和生產率的循環生產。