二手 KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 8 Gen4 Pro #293824970 待售
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單擊可縮放
ID: 293824970
晶圓大小: 8"
優質的: 2025
Mask aligner, 8"
Top Side Alignment (TSA)
Bottom Side Alignment (BSA)
Motorized X, Y, and Theta alignment stage (0.1 um resolution)
Screen split field microscope
Motorized fine focus
(2) 5x Objectives
(2) 10x Objectives
UV LED Exposure system
MO Exposure optics
9" x 9" Mask holder
8" Chuck with N2 Purge
Custom N2 Purge system
UV Measurement system
Optometer
Probe: 365/405nm
Double membrane vacuum pump
PLC Control
2025 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro是為半導體制造、研發和微電子應用中的先進光刻工藝而設計的最先進的掩模對齊器。這種精密對準工具提供高精度和吞吐量的能力,以滿足現代納米技術和MEMS設備制造的苛刻要求。MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro具有強大的人體工程學設計,可確保穩定的操作和易用性。它的模塊化體系結構允許定制和未來升級,以適應不斷變化的流程需求。設備配備先進的光學、精確的對準階段、直觀的軟件控制以及智能自動化功能,以優化工作流程效率,最大限度地減少操作員幹預。KARL SUSS MA/ BA8 GEN4 PRO的關鍵亮點之一是它的高分辨率光學系統,該系統可實現關鍵陣列任務的亞微米對準精度。該裝置能夠以極高的精確度對準口罩和基板,確保圖樣精確轉移到基板表面。對於實現半導體器件制造中的緊密覆蓋公差和高分辨率模式而言,這種對準精度水平至關重要。MA/BA 8 Gen4 Pro還配備了高級對齊算法和軟件控制,可實現自動對齊過程,減少設置時間並提高可重復性。機器提供多種對齊模式,包括全局對齊、本地對齊和自動模式識別,以適應不同應用程序的各種對齊策略。除了對準功能外,KARL SUSS/MICROTEC MA/ BA8 GEN4 PRO還提供了一種多功能的曝光工具,可支持各種曝光波長、光源和曝光模式。資產可以處理各種類型的基板,包括晶圓、掩模和柔性基板,使其適合光掩模制造、器件圖案、傳感器生產等多種光刻應用。KARL SUSS MA/BA 8 Gen4 Pro包含高級工藝監控功能,以確保一致和可靠的光刻結果。該模型提供實時反饋機制、劑量控制和暴露均勻性優化,以提高工藝穩定性和產量。其用戶友好的界面為過程分析和優化提供了直觀的操作和數據可視化工具。總體而言,MICROTEC MA/ BA8 GEN4 PRO是一種用途廣泛且可靠的掩模對齊器,可滿足先進半導體和微電子行業的嚴格要求。憑借其高性能的光學器件、精確的對準功能、自動化的工作流以及先進的過程控制功能,該設備使用戶能夠在制造尖端電子設備和微結構時實現卓越的模式分辨率、對準精度和過程效率。
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