二手 KARL SUSS / MICROTEC Mask Track Pro #293634693 待售

KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Pro是一種最先進的掩模對齊器，用於在光刻應用中制造精細的幾何形狀。利用精密晶片級進行極其精確的控制,MICROTEC Mask Track Pro提供了高度精確的掩模對準和高分辨率的階段掃描功能。該對齊器專為需要最佳對齊精度和可靠性的應用而設計。KARL SUSS Mask Track Pro的全自動對準設備基於最先進的白光幹涉儀系統。幹涉儀將正弦條紋圖樣投射到光掩模上，從而產生與物體與傳感器精確距離直接相關的信號。此信號由先進的CCD相機測量，允許精確的掩碼配準。高速傳感器和精確的電機使掩模與晶片的對準速度非常快和精確。此外,Mask Track Pro還配備了6軸優化靈敏度功能,可確保更精確、更穩定的對齊方式。此外,KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Pro還配備了高分辨率階段掃描重新定位單元,能夠創建分辨率高達2微米的模式。此功能允許對光掩碼上的功能進行極其精確的控制。該機器能夠以200納米的步進分辨率定位舞臺。此外,MICROTEC Mask Track Pro提供自動晶片加載功能,可實現精確的晶片對齊。KARL SUSS Mask Track Pro是一款功能強大的Mask對齊器,可精確對齊具有高分辨率特征和精細幾何形狀的光掩模。先進的幹涉儀工具可以將光掩模的正確區域精確地設置到晶圓上,高速電機可以快速準確地跟蹤。高分辨率階段掃描重新定位資產保證了準確的特征創建，自動晶片加載模型確保了精確的對齊。憑借其先進的設計和強大的性能,Mask Track Pro是要求苛刻的光刻應用程序的通用且可靠的選擇。