二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9096329 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-21是一種高精度的掩模對齊器，常用於批量生產和研究級工藝中的光刻。MICROTEC MJB-21是一種3軸、計算機控制、高精度的曝光機，能夠在各種基板上進行高度精確的微加工過程。它為用戶提供了廣泛的可編程運動控制、曝光照明、曝光水平、預定義的對準精度以及精確生產所需的其他參數。KARL SUSS MJB 21使用了175瓦的水銀氙燈作為顯微鏡級照明的光源。這種燈既堅固又可靠,每次都能提供精確的曝光.這款燈還具有365 nm的波長，可以根據所需的曝光類型進行調節。此外，MJB 21還配備了獲得專利的SMPR（亞微米定位分辨率）設備，可確保0.1微米的精度。這種SMPR系統使用了舞臺內定位器和高精度激光幹涉儀，允許工作表面的精確運動，同時即使對於最小的物體也保持對準精度。為了確保高精度應用的光刻成功，必須監控和評估KARL SUSS MJB-21的準確性。這是由定期使用激光幹涉儀，這是內置在機器監測。幹涉儀確保所有曝光都以正確的對準方式進行，從而產生最佳的生產結果。當需要更改時,KARL SUSS/MICROTEC MJB 21獨特的SMPR技術允許它使用新流程的一些用戶定義參數自動更新當前對齊方式。MJB-21設計用於低熱漂移、高可靠性和低維護。控制算法相對簡單，設備配備了多個曝光和對齊級別，允許用戶為自己的應用選擇最合適的。總體而言，MICROTEC MJB 21是專門為微加工工藝設計的高級掩模對齊器。KARL SUSS/MICROTEC MJB-21具有廣泛的可自定義功能,例如可調節照明、對準水平和運動控制,使其能夠精確、精確地執行高精度過程。這是一個健壯可靠的機器，最大程度地減少了熱漂移和低維護。MICROTEC MJB-21是任何需要極高精確度和精確度的過程中必不可少的工具。