二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #114445 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種用於半導體制造工藝的掩模對齊器。它是一種高精度對準設備，采用獨特的高分辨率光學成像技術，以確保準確性和可重復性。該系統設計用於對晶片上的兩個或三個單獨的光掩模進行成像和對齊,以便制造先進的半導體。MICROTEC MJB3利用機器人、光學和軟件的獨特組合,將預定義的光掩碼精確對齊晶圓。它具有集成的獨立個人計算機和專有圖形用戶界面（GUI）和控制程序,使用戶能夠方便地設置、對齊和監視其對齊方式。它還配備了目標位置、圖像質量、對齊速度選擇等幾個標準的用戶定義對齊參數。KARL SUSS MJB3旨在輕松配置和一次處理多達三個掩碼。它在全場投影單元中使用每個掩模的單束光束,具有出色的熱性能、基本成像像差和高精度的對準。另外，顯微鏡允許掃描具有精確對齊亞像素位置的晶片。增加的分辨率有利於在小到5 µm的視場內對齊掩模。KARL SUSS MJB 3是一臺自動化機器，配備了高速機械臂、封閉式腔室、數字編碼器和軸承幻燈片、精密的軟件，以及令人印象深刻的數組數字探測器，可以快速精確地執行對準。它還提供了高度可重復和準確的對齊性能。對齊器還支持多種光掩模，從薄膜光掩模到大步進重復圖樣。綜上所述，KARL SUSS MJB-3是一種功能強大、用戶友好的掩模對齊器，適用於制造先進的半導體器件。它提供了高精度、精確度和可重復性的光掩碼對準晶片在一個小的視野。它是一種自動化工具，非常適合大批量制造半導體晶片，並安裝在各種生產場所。