二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293586572 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種自動掩模對齊器，廣泛用於半導體和微電子工業的光刻工藝。該裝置配有光學和機械設備，可進行精確的掩模對準和叠加配準，並確保了批量處理的高精度和速度。對準器將光學系統與電動電動機驅動的x-y級相結合，將掩模相對於晶圓定位。光學對準單元在對準過程中監視和檢測晶圓和掩碼的未對準,並可以自動移動掩碼以消除任何未對準。MICROTEC MJB3的可重復性為0.5 μ m或更高。KARL SUSS MJB 3具有自動化裝載機，允許單個操作員以半自動方式裝載多個掩碼。掩碼可以按順序或並行加載。對準器還可以通過使用雙激光器和測量載荷過程中基板厚度變化或其他因素造成的失準，動態提高對準過程的精度。MJB3具有自動掩碼檢查功能,允許在將掩碼復制到晶片上之前檢測到缺陷。KARL SUSS MJB-3提供了光學或非光學曝光源的選擇，允許在曝光過程中的靈活性。它還為定制曝光要求提供了不同的鏡頭選項。該裝置能夠與石英、單晶矽、光致抗蝕劑等多種底物一起操作。KARL SUSS/MICROTEC MJB3附帶了用於控制對準操作和曝光設置的軟件。軟件包括手動對齊和模擬模式，用於估計掩模和基板之間的重叠。該軟件還允許對晶圓對齊結果進行批處理和圖像捕獲,以進行追蹤記錄。MICROTEC MJB 3被設計成與其他半導體製造機高度相容，例如激光掃描儀和蝕刻機。此配置允許同時處理多個晶片。該設備還提供諸如延長曝光時間或每次曝光時可選擇的Z坐標等功能,這有助於優化曝光過程。總體而言，KARL SUSS MJB3具有一系列特性，使其成為半導體和微電子工業中光刻工藝的理想選擇。它旨在提供高精度、可重復性和速度,以及其曝光過程的靈活性。該裝置還能夠處理多個基板，與其他制造機器高度兼容。MJB3是一個極好的選擇，一個掩模對準精度和成本效益光刻。