二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是專門為生產級光刻設計的專用Mask Aligner。在光刻中，一個精細的圖樣通過暴露於紫外光而從光掩模轉移到矽片，這為器件放置在晶片上提供了極高的精度。MICROTEC MJB3 Mask Aligner提供非常高精度的對準,定位精度± 0.3 μ m,可重復性± 0.2 μ m。KARL SUSS MJB3對齊器提供兩個獨立的對齊系統。首先是顯微鏡對準設備，由高分辨率數碼CCD相機（1280 x 1024,5.5 μ m間距）組成，放大倍率為4x-64 x，對準精度為0.06 µm/像素。第二對準系統為粗對準步進單元，由高分辨率級（1800 x 1800音高）組成，定位精度為0.4µm，用於粗對準。KARL SUSS MJB-3對齊器配備了高度創新的成像機，提供了無與倫比的視野。它允許大面積曝光，視野高達200毫米，每像素分辨率26.6µm。這是通過結合使用長工作距離50毫米2.5X變焦目標和兩個數字移位鏡頭來實現的。該成像工具還配備了明亮的現場成像資產，能夠擴展動態工作範圍和靈敏度。MJB3對齊器提供了廣泛的高級曝光參數,例如最大曝光場大小為8 「x 8」,曝光劑量範圍為0.1-250 mJ/cm2,曝光精度為± 2%。它還提供了多種曝光類型，如單光束、多光束和可編程光束曝光，以獲得最大的靈活性。最後,MICROTEC MJB3掩碼對齊器高度集成,可提供最高性能、可控吞吐量和無與倫比的精度。它為性能提供了加熱真空卡盤,並且能夠在一次運行中處理多達五個晶片,從而確保了高吞吐量的生產環境。而且，KARL SUSS MJB3與許多軟件包兼容，可以作為獨立型號或作為全自動生產線的一部分使用。