二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293618665 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種高精度的掩模對齊器，用於制造半導體和顯示器件。這臺機器的設計使精確的口罩與基板的精確坐標對齊，具有很高的準確性和可重復性。機器可以處理多種基材和晶片，包括晶矽、玻璃、塑料或直徑可達13英寸的金屬。MICROTEC MJB3掩模對準器由主控制單元、兩個掩模級、兩個基板級、兩個X射線通量強度測量系統和成像器頭組成。主控制單元包含所有用於控制和監控機器各種功能的電子設備。這兩個掩模級用於將光掩模精確對準基板。這兩個基板級用於將基板牢固地固定在適當的位置並便於精確對準。兩個X射線通量強度測量系統測量單位內的X射線強度，以確保精確對準。最後，利用成像儀頭在紫外線照射下查看基板和光掩模。KARL SUSS MJB3提供了高度可重復性的對齊精度高達一個令人難以置信的20納米。這是通過使用兩種精密激光幹涉儀和高分辨率步進電機來實現的。激光幹涉儀測量光掩模與基板之間的距離，而高分辨率步進電機則確保每個對準點精確實現。MICROTEC MJB 3機器有幾個先進的功能，包括自動晶圓映射和晶圓對準掃描、自動對焦能力、全X射線檢查能力以及優化和表征工具。X射線檢查功能對於確保在將掩模轉移到基板並安裝在基板上之前精確對齊特別有用。優化和表征工具為確定基板上每個光掩模的精確對準提供了廣泛的選擇。總體而言，MJB3面罩對齊器是一種高度精密的機器，用於將光面罩精確對準基板。KARL SUSS MJB3具有高度的可重復性和先進的特性,是半導體和顯示設備行業中需要可靠、精確的掩模對準的一個絕佳選擇。