二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293630419 待售

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KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
已售出
ID: 293630419
晶圓大小: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是為光刻應用而設計的頂級掩模對齊器。它采用了新的鏡面鏡像設計,可確保卓越的對準精度和超大的工作空間。這種掩模對齊器能夠提供高度調節和加熱的環境,同時處理具有廣泛參數的晶片和基板。MICROTEC MJB3由各種組件和功能組成。它配備了12英寸均勻的紫外線光源,確保光刻膠的正確曝光。此光源可以調整到不同的設置,如高動態對比度、單色和彩色LED均勻性。內置冷卻設備可用於冷加工基板的生產。KARL SUSS MJB3使用創新的光學定心系統,以確保晶圓在曝光前正確定位。此單元包括一個Z-Axis驅動器和居中傳感器,可放置在腔室的所有4個象限中。這樣可以確保所有側面的對齊都是準確的。它還有一個XY計量機,用於X和Y軸上的垂直對齊變化和晶圓映射。此外,掩碼對齊器還包括用於掩碼配準的集成工具,可幫助快速準確地放置掩碼。MICROTEC MJB3還具有多種安全功能,以保證您的樣品和操作機器的人員的保護。為了保持較高的精度和準確性,可以每30分鐘進行一次自動校準,以檢測設備的微小差異。此外,還配有互鎖、限位開關、UV低壓監控等功能,確保安全運行。總體而言,MICROTEC MJB3是一種先進的掩模對準器,適用於各種光刻應用。它具有高精度、精確度和安全特性,對於任何需要可靠的掩模對齊器的人來說,都是可行的選擇。
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