二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293649571 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種由MICROTEC制造的自動光刻面膜對齊器，位於德國。它被半導體和微電子工業用於復雜元件的快速微加工，如光刻。MICROTEC MJB3能夠精確繪制到納米範圍內，分辨率為1 μ m。通過使用它的四軸萬向節安裝階段，它比其他掩模對齊方法更快、效率更高。這種安裝在萬向架上的舞臺使x軸、y軸和z軸的運動具有極好的穩定性和準確性。KARL SUSS MJB3還采用雙對準技術，提供高吞吐量和卓越精度。要定位掩模,MICROTEC MJB-3使用四狀態自動聚焦設備。該系統能夠定位並精確定位所有三個軸上的掩模,分辨率為1 μ m。它還可以檢測對齊標記在掩碼上的位置，允許精確且對齊良好的掩碼。蒙版上的對齊標記由連接到顯示器的CCD攝像頭檢測,從而使操作員能夠引導和監視對齊過程。KARL SUSS/MICROTEC MJB3使用紫外線、i-line和深紫外線光源的選擇。這允許各種平版印刷過程,包括地形覆蓋、反光、接觸和其他過程。不同光源的組合和可用的對準技術，使KARL SUSS/MICROTEC MJB3能夠提供靈活高效的光刻解決方案。為保護用戶免受輻射，MJB3中包含多個安全系統。其中包括一個可定制的聯鎖裝置，用於監測操作員的位置；用於濾除紫外線波長的光穩定屏蔽；以及一種監控紫外線供應水平的安全機器。總之，MJB-3是一種自動光刻面膜對齊器，為工業上提供了高通量和準確的光刻方法。光源的選擇與四軸萬向節安裝級相結合，使KARL SUSS/MICROTEC MJB3的陣列下降到納米範圍，達到1 μ m的精度。此外，它還能夠提供出色的安全系統，保護用戶免受輻射。