二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293668771 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種精密掩模對準器，用於微電子學的許多領域。它通過將光通過標線或光掩模投射到光刻膠上，在光刻膠上產生微觀圖樣。MICROTEC MJB3是一種超高精度的數字掩模對準器,可在較寬的溫度範圍內提供可調的對準精度和最低的振動水平。其特殊性包括由於其穩定的結構設計以及創新設計和集成的運動控制和對準系統，能夠產生高達0.5微米的對準精度。KARL SUSS MJB3還能實現0.005mm或0.0001"範圍內的橫向運動，可重復性最高。柔性準直系統是用電子控制濾波器代替光學定位的幹涉濾波器並利用替代準直的另一個特點。分析控制技術提供了一種有效的方法來分析，可視化，並在曝光過程中控制兩到四個不同的波長光譜。KARL SUSS/MICROTEC MJB3還具有自動的人臉檢測和晶圓旋轉，使得x-y-z平面的對準精度。此外，MJB3利用減少氣體屏蔽系統，以低成本制造更小、更密集的微結構。最後,它提供了一個用戶友好的CIM軟件界面,用於有效地設置和慢跑標線掩碼。總之，MJB-3是一個先進的蒙版對齊器提供所有必要的特征，以產生高精度的圖樣到光刻。