二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293685973 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種用於制造薄膜微電子電路的高精度掩模對準器。適用於從接觸面膜到高分辨率薄膜圖樣在基板上的應用。MICROTEC MJB3精密對準器設計用於在存在高頻電磁輻射場的情況下對齊掩模,例如在MIL-STD-882、自動模式傳輸系統中使用的掩模。KARL SUSS MJB 3配備了電磁輻射屏蔽與腔室、電磁對準設備、精密運動控制系統、X-Y-Z運動級以及真空光學對準單元。電磁輻射屏蔽室采用先進的材料技術實現，其配置允許對強輻射場進行屏蔽。電磁對準機使用電磁場將掩模與基板對齊。該工具還包括一個自動調節機構，以確保將蒙面膜精確地放置在高精度的基板上。精密的運動控制資產確保了掩模和基板的準確定位。其組件包括比例積分-導數（PID）伺服環、精密的可編程數字信號處理處理器和高速狀態機控制器。X、Y和Z運動階段用於以精細控制的方式移動掩模、基板和光學器件,以確保對掩模和基板進行匹配配準以實現精確對準。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的真空光學對準模型利用激光衍射光譜（LDS）和反射照明檢測基板和掩模配準點之間的近乎微觀的位置親和力。LDS設備以光學測量為基礎，精度高，速度快。反射照明填補了標準相機和LDS系統之間的空白，提供高分辨率成像和在子像素級別檢測特征。MICROTEC MJB3精密對準器設計用於潔凈室環境中，在采取預防措施並按照所提供的指示使用該裝置時，可以最安全地操作。KARL SUSS MJB3掩模對準器是一種用於制造薄膜微電子電路的可靠、精確的機器。