二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293705835 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是一種可靠、精確的半導體生產線光刻工具。它能夠對準和曝光具有高光學和機械精度的掩模，確保一致和可重復的結果與零對準可重復性。MICROTEC MJB3是一種半自主設備，包含多個用戶界面，使實時控制和操作變得容易。它支持直徑最大為150 mm的晶片（或6英寸晶片），並且兼容一系列的掩模框架和多個標線尺寸，包括內置堆棧的標線架。KARL SUSS MJB3有三個主要組件-照明、光學系統和基板處理單元。其照明機設計能夠產生均勻而高效的遮罩照明，以減少曝光噪音和不一致，從而使遮罩在晶圓上快速而簡單的對準。它采用了多場投影工具，提高了曝光的分辨率和準確性。照明光學器件從光源和遮罩框架轉移到基板級，然後輻射通過遮罩投射到基板上。MJB3的光學系統提供高精度和可靠性。它裝有電機控制的變焦、對準和標線座光學資產，便於定位、對準和掩模到晶片的配準，以取得一致和可重復的結果。其先進的光譜能力也使得能夠準確地測定發光通量的特性，例如其強度和光譜組成。KARL SUSS MJB-3的基板處理模型具有一個能夠旋轉和位移的扁平基板表,它允許各種晶圓大小和類型。它可以接受矩形和圓形基板，使其適應生產過程的需要。平板還保證了塗層性能的一致性和容易的基板載荷.KARL SUSS/MICROTEC MJB 3還有五個真空頭，可以精確控制和操縱掩模對準設備，以及自動晶片裝卸。由於其先進的光學和機械設計,MJB3 Mask Aligner是高效可靠生產半導體的最佳系統之一。高分辨率和準確性使其成為光刻應用的可靠且經濟高效的解決方案。
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