二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293713185 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是一種精確可靠的光刻設備,用於直接光刻處理,例如微電子電路和薄膜沈積的制造。MICROTEC MJB3系統具有可編程坐標、攝像頭反饋和開放式體系結構可訪問性等特點,便於調整和操作。其五軸定位單元保證了卓越的對準穩定性和精度，可以設定為絕對精度0.5 µm。對準器配備了一個715 x 715 mm的大曝光級，以及一個協助平移的5米長的軌道和一個高精度的標線夾。此外,KARL SUSS MJB3還展示了符合人體工程學的設計,為用戶提供了方便的操作和舒適性。機器由RoboticVision軟件提供動力,當用於關鍵的對齊和叠加任務時,該軟件可確保一致的性能和準確性。MJB-3非常適合許多應用,例如晶片級封裝、模具連接、薄膜加工和MEMS制造過程。它可以容納各種各樣的基材，範圍從晶片到柔性基材，並且可以與所有抗蝕劑一起使用，包括正負抗蝕劑配方。這種多功能性使得它對於集成到多步驟系統中非常有吸引力。對於曝光，MICROTEC MJB 3可與一系列光源結合使用，包括準分子和遠紫外線曝光源。位於儀器前部的曝光塊高度可定制,具有滑動曝光臂,可手動對準和控制短曝光和長曝光時間。為用戶方便起見，操作軟件包括高級分析工具，如自動對準校準和自動曝光模式選擇。此外，操作員可以通過一個強大的用戶界面或通過內部網監視和控制該工具。這項資產是任何希望可靠、準確地制造微電子器件的人的絕佳選擇。它的大舞臺、高精度和可編程控制，使其成為現代掩模對準器應用的最先進的選擇。