二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293743798 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3面膜對準器是一種精密的光機機械，設計用於光刻加工。它主要被微電子和半導體工業用來制造亞微分解像器件和電路。MICROTEC MJB3利用連續波激光源以及投影和成像設備將圖樣從硬光掩模傳輸到晶圓表面基板。該系統配備了兩個祭祀級，提供了一個穩定、水平的定位單元，用於對面膜和基板進行仔細的對準。這種對準得到了高度精確、自動化的X-Y光柵掃描機和具有實時反饋和1.3納米分辨率的Z軸深度控制的幫助。KARL SUSS MJB 3有一個數值光圈（NA）為0.55的照明鏡頭，能夠照亮2"或4"或6"或8"甚至10"的口罩，這取決於配置。此外,MICROTEC MJB-3經過設計和設計,可提供可靠的操作和高分辨率的可重復性,並且只需最短的設置時間。它配有可調真空夾具，為晶片提供可調支撐。MJB-3還使用直線和邊緣補償器精確對準邊緣輪廓。這個補償器由一組距離元件和一個驅動單元組成，可以進行精細的岸上控制。在安全控制方面，KARL SUSS MJB3配備了兩個自鎖機構。第一種是電磁互鎖，在打開腔室和自動對焦板時阻止工具操作。二是防止未經授權人員操作資產的鑰匙操作聯鎖。MJB3是一種強大而精確的光刻加工工具。其模塊化設計和精確控制模型使其成為一種高效可靠的設備，即使具有挑戰性的口罩和基板也能獲得快速、準確的結果。此外，它的自互鎖機制確保了安全可靠的操作，以及一個可靠的精密光刻平臺。