二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751564 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一款具有廣泛功能的最先進的掩模對齊器。該單元是一個全自動掩碼對齊器，與其他掩碼對齊器相比具有許多優點。MICROTEC MJB3配備了一個用於精確對準掩模圖樣的電子宏聚焦設備，以及一個用於亞微米分辨率的激光光學系統。該單元還有一個內置的微焦點適配器，允許在微觀層面精確對準。此外，KARL SUSS MJB 3有一個全自動晶片對準單元，它允許對多層圖樣的多個掩碼進行精確的配準，以及晶片上的圖樣高度精確的對準。這臺自動化機器具有較大的掃描面積，並包含高精度、機動化的級，用於精確對準，而不會在晶圓上覆蓋任何操作員。此外，KARL SUSS MJB-3配備了具有多種功能選項的數字界面，並具有獨特、用戶友好的圖形界面。它還能夠進行一系列的光刻操作，如曝光、曝光後烘烤和溶劑幹燥。此外,MJB3還可以通過一系列可選功能進行定制,例如旋轉塗層附件、更高分辨率的成像源和多層對準工具。因此，MJB-3是許多應用的理想掩模對齊器，特別是精細對齊的多層微電子元件的小規模加工。