二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751566 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是半導體工業中用於光掩模生成和晶圓曝光過程的一種全自動蒙版對齊器。其主要功能是在晶圓表面上精確定位和對齊一個光掩模（包含圖樣），用於曝光過程。它旨在提供快速、可重復的掩模對準操作,並具有出色的定位精度。MICROTEC MJB3具有兩個獨立的線性階段。這些X級和Y級均采用直接驅動電動機驅動,可提供非常精確、高分辨率（精確度高達1微米）和可重復對準能力。它還具有激光，用於測量掩模與晶圓的對準度到亞微米精度。掩模和晶片可以在X和Y線性級上獨立精確地移動。此外，KARL SUSS MJB3還利用晶圓處理程序和掩模處理程序控制，使光學器件易於處理。兩者都有獨特的對準系統，其中掩模處理器有有助於確保掩模圖樣對準精度的鏡頭，晶圓處理器有自己獨立的定心系統。它還配備了視覺系統，幫助定位和操縱晶片和掩模。KARL SUSS/MICROTEC MJB3掩碼對齊器包括可編程邏輯控制器（PLC），可以方便曝光程序的自動化和處理。它還具有一個流程監視器,可輕松訪問曝光參數和數據。它還允許存儲多個掩碼和晶圓位置,以及曝光參數。KARL SUSS/MICROTEC MJB3可靠易用，其可重復的掩模對準和準確性使其成為光掩模生成和晶圓曝光過程的首選工具。它能夠處理各種類型的光掩模，其組件可以定制以適應不同的晶圓曝光應用。其堅固的設計確保其符合最高質量標準,使其成為任何光掩模生成或晶圓曝光過程的理想掩模對準器。