二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種用於光刻工藝的高精度掩模對準器，用於制造微電子和光電器件。MICROTEC MJB3為精密光掩模與基板的對齊提供了高度的準確性和可重復性。這樣可以將具有完美精度的圖案化層轉移到基板上。KARL SUSS MJB 3由一個光學模塊、一個精密機械對準模塊和一個階段控制模塊組成，全部組合在一個通用平臺中。光學模塊包含一個無窮大校正的Koehler型照明器，它產生一個平行的光束照明錐體。光成像系統由光束分裂、折射成像和電動放大元件組成。分束元件將圖像字段分成四個子字段,這些子字段聚焦在光學模塊的左右透鏡元件上,以便於同時對準多個光掩模。精密機械對準模塊配備了機動化元件，可以對口罩進行極其精確和可重復的定位。系統使用線性編碼器和掃描頭引導掩模框架沿X和Y軸的移動以進行對齊。它還具有用於高精度位置感測的交叉偏振分束器和用於正確定位口罩的行程長度傳感器。階段控制模塊由三個階段元素組成。兩個主要階段提供了對光掩模的精確掃描，而可調節階段則提供了X和Y軸上掩模的精確運動。主要階段包括用於X和Y掃描軸的兩臺精密定位電動機和用於樣品快速可靠旋轉的旋轉軸。可調級具有線性編碼器，用於測量標線位移。MICROTEC MJB3包括實時成像、集成軟件和各種兼容配件。系統還具有對所有模塊和組件進行診斷檢查的自檢功能。所有這些特性使KARL SUSS MJB3成為一款高性能、多用途的掩模對準器,具有出色的穩定性和準確性。