二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293777763 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種先進的用於光刻的自動掩模對齊器。掩模對準器處理集成電路（IC）掩模，基板的最大尺寸為8 「x 8」，有一系列的對準和曝光操作。設備由先進的光學組件、6英寸二極管激光器和數字反饋控制系統組成。該單元在手動或半自動（可編程的）模式下工作,可以設置各種參數組合,包括對齊、曝光和傳送模式。光源是一種二極管激光器，用於對準和暴露掩模，激光控制系統對準掩模圖樣與光刻膠。激光被投影光學器件脫脂聚焦，達到亞微米精度，而遮罩圖樣的陰影（強度）可以在基板上解析，精度± 5 μ m。光強度由電子控制,可以在5mW到25mW之間進行調整,而無需對設備進行任何物理修改。面罩本身安裝在步進電機級，由強大的步進電機驅動。以精確和快速的方式實現遮罩對準，確保圖案與所需的光刻膠完全覆蓋。該機器可適應各種操作條件，從晶圓到集成電路或復雜模式。該裝置是完全自動化的，有真空系統、自動掩模處理和內置晶圓映射工具。這確保了快速可靠的光刻工藝。基板對準資產配有先進的精確映射視覺模型，平面平面，高精度± 0.14mm。為確保安全，MICROTEC MJB3配備了安全快門，以防止任何殘留的激光到達用戶。KARL SUSS MJB3適用於尖端光刻設備，對準和曝光速度快，掩模圖樣精確，可重復性高。因此,它是任何IC設計和制造實驗室的重要工具。